微波助力半導(dǎo)體研究

新儀 MASTER-18 微波消解儀、趕酸器、分析天平(十萬(wàn)分之一)等

硝酸(68%)，氫氟酸（40%）

精確稱取半導(dǎo)體薄膜材料50 mg（精確至0.1 mg），緩慢滴加8 mL 硝酸（劇烈反應(yīng)，釋放氣體），靜置10 min 左右，待無(wú)明顯反應(yīng)后，補(bǔ)加2 mL 氫氟酸，組裝消解罐，按照如下設(shè)置參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)：

實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，待冷卻至60℃以下，取出消解罐轉(zhuǎn)移至通風(fēng)櫥中緩慢打開(kāi)，趕酸稀釋后，樣品可完全消解至澄清透明狀態(tài)。

實(shí)驗(yàn)選取的半導(dǎo)體薄膜材料樣品，取樣為50 mg，加入硝酸靜置后，補(bǔ)加氫氟酸，最高實(shí)驗(yàn)溫度210 ℃，保溫40 min 左右，樣品可完全消解。

1、添加氫氟酸進(jìn)行實(shí)驗(yàn)后，需進(jìn)行趕酸處理，防止氫氟酸對(duì)玻璃器皿造成腐蝕，也可能會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果造成影響。

2、添加硝酸后樣品反應(yīng)劇烈，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中應(yīng)緩慢加入或者分多次加入硝酸，同時(shí)實(shí)驗(yàn)人員需做好防護(hù)。